プラズマ窒化

プラズマ窒化の原理

プラズマは荷電粒子、イオンと電子からなり、プラズマ状態はイオン化した原子もしくは分子からなります。

プラズマ窒化装置の炉体を陽極に被処理物を陰極にし、直流電圧を印加すると陰極直下で電圧降下します－陰極降下－プラズマ状態は陰極降下範囲内においてのみ生成されます。

プラズマ状態を生成するための手段として、グロー放電を使います。

グロー放電中にある正の窒素イオンは陰極に向かい移動し、陰極=被処理物表面直前で高速に加速され衝突します。イオンの持つ高エネルギーは熱エネルギーに変わり、被処理物を加熱します。

FeNはイオン衝突と高温のために低い窒素量の化合物に分解、放出窒素の一部は被処理物の内部に拡散し、窒化が行われます。

• 高耐摩擦摩耗性の向上・・・高硬さ窒化層　主にγ’化合物層生成→N拡散層の効果

• 表面化合物層の制御が可能
• オーステナイト系ステンレス鋼の窒化が容易

• 低変形・・・低温処理の効果
• 処理品の耐食性向上・・・窒化後の表面バフ仕上げで硬質Crメッキより耐食性が向上した事例があります。RoHS指令にも適応しています。