応用科学研究所の共同研究先が「ベスト産業実用化賞」を受賞-----次世代加速器用タングステン、半導体製造工程への応用に道筋

本研究所の共同研究機関である高エネルギー加速器研究機構(KEK) 素粒子原子核研究所 J-PARCセンター ハドロンセクションの牧村俊助技師が出展した「最先端加速器技術で産業を革新する－超耐熱高靭性・高電気抵抗率タングステン合金」が、1月26日、つくば国際会議場で開催されたSATテクノロジー・ショーケース2023においてベスト産業実用化賞を受賞しました。

超耐熱高靭性タングステンは陽子加速器の標的材料として期待されているだけでなく、半導体分野における超高温ヒーターや、露光装置に用いられるランプ電極の材料、医療用のX線発生装置用回転陽極や、核融合炉のダイバーター材料としても有望視されています。今回の受賞では、超耐熱高靭性タングステンへのレアメタル添加によって、画期的な高電気抵抗率化を実現し、半導体製造工程への応用に道筋をつけたことが高く評価されました。

本研究所は、研究大学コンソーシアムMIRAI-DX(分子科学研究所、九州工業大学)、愛媛大学、東京大学、日本原子力研究開発機構、核融合科学研究所などと共に、2021年度から超耐熱高靭性タングステン合金の開発に関する共同研究に参加しており、本研究所では主として電子顕微鏡を用いた微細組織観察を分担しています。